中国DUV制造商爱晟纳老底被扒

　　上海微电子装备以及上海宇量升科技都深度参与北京的半导体自主计划。宇量升是华为投资的设备制造商新凯来（SiCarrier）的关系企业。公司与招聘纪录显示，爱晟纳与宇量升在上海共用一个地址。

　　科技业新闻媒体The Information 27日率先报道，上海一家未透露名称的国有企业开始制造DUV，预计今年生产5台，2027年约生产20台。

　　路透首度披露该公司名称。知情者说，爱晟纳的DUV机台预计需进一步进行测试，其品质仍与荷兰艾司摩尔（ASML）的同类产品仍有一大段距离。然而，若西方持续限制DUV的出口，国产DUV将是中国芯片制造商的另一种设备来源。

　　The Information报道，中国制DUV机台预计今年交付给中芯国际、华虹半导体与长鑫存储。

　　分析师指出，尽管相关消息引发市场反应，但中期而言，不太可能对艾司摩尔（ASML）的获利造成影响。

　　摩根大通分析师7月28日指出，“生产一些浸润式DUV工具与制造可用来大量生产芯片的工具是两码子的事，对于后者，良率、叠对精度、产出量与数千片晶圆运作的可靠性才是关键”。

示意图 （路透社）

本文转自：TNT时报